判斷出東莞伺服閥閥芯在動作過程中有顫抖動作，根據故障現象為液壓伺服油缸動作不良。其原因可分為電氣和機械兩大部分。因電氣故障處理較快，為盡快維修，故從電氣處理開始。
    1. 電氣局部
  則有可能為控制信號串入交流信號、接線端子松動．連線接觸不良。信號發生回路硬件故障，設為電氣部分出現故障。伺服放大回路硬件故障等原因。經檢查，可以排除控制信號串入交流信號的可能，接線端子牢固無松動現象，連線無接觸不良，更換信號發生回路硬件模塊和伺服放大回路硬件模塊，故障現象依舊，采用示波器測量，信號正常。至此，基本排除電氣局部故障。
    2. 液壓局部
    分別依次排除以下故障的可能性：油壓管道和油缸內有空氣、液壓油污染、油缸內漏嚴重、控制油路和主油路壓力不穩定。最后認定是伺服閥本體故障。更換伺服閥先導部分．開機正常。
發現力矩馬達導磁體與銜鐵縫隙中有許多金屬屑， 經拆開檢查。相當于減小了銜鐵在中位時的每個氣隙長度 .根據《液壓控制系統》分析結論：當 |x/g |>1 3 時 ( x 為銜鐵端部偏離中位的位移 ) 銜鐵總是不穩定的因此認為液壓系統中的金屬屑被吸附在永磁體上，減小了氣隙長度,破壞了力矩馬達原有的靜態特性，本次故障的根本原因。
    維護措施
以及分析的其他可能，針對本次故障原因。采取了以下措施：
清理蛻變油  
    1. 定期更換伺服閥
因此定期清洗、更換力矩馬達和先導閥，我們要知道伺服閥工作原理，此次故障的直接原因為力矩馬達被污染導致伺服閥動作不良。防止污染，從而杜絕故障發生。伺服閥的裝拆應在盡可能干凈的環境中進行，操作時應先去掉接到伺服閥上的電氣信號，再卸掉液壓系統的壓力，然后拆下伺服閥，送到有伺服閥維修、清洗廠家維護；清洗后的伺服閥，可以作為備件輪流使用，降低費用。
    2. 定期更換油路濾芯。
因此定期更換該系統油路中的濾芯，由于此次故障由液壓油中金屬污染造成。放掉濾油器中存油，可防止污物進入伺服閥，有效的防止故障發生，延長伺服閥的運行時間。 北美伺服閥跟電液伺服閥使用和維修
位置又處于管道的盲端, 力矩馬達和先導閥完全浸泡在與回油相通的油液里。所以該處的油液幾乎不流動，易氧化變質，因此需定期放掉變質的液壓油。
加強液壓油的管理  
    3. 定期更換液壓油。
并且液壓系統中的泵．閥、油缸等的磨損，液壓油在臨時工作中會氧化焦化。會產生一些金屬屑，會降低液壓油的品質，造成故障。根據近幾年液壓油使用周期和油品化驗結果，要每 10 個月更換一次液壓油，才干保證設備無計劃外停機。